在半導體制造領域，投影光刻機作為核心工藝設備，其工作環(huán)境對振動控制的要求極為苛刻。SSB260/20T型投影光刻機憑借高精度和高速運算能力在光刻過程中實現微米級圖案轉移，而微小的機械振動都可能導致圖案偏移和工藝缺陷。因此，采用高性能的減震系統成為確保設備穩(wěn)定運行的關鍵技術。SDS橡膠波紋減震器正是在這種需求背景下誕生，其通過獨特的波紋橡膠結構設計，有效吸收和隔離振動能量，保障光刻過程中的精密控制。
SDS橡膠波紋減震器主要由內膠層、加強布層和外膠層構成，外觀呈現出均勻的波紋結構。這種設計不僅賦予了減震器優(yōu)異的柔性和彈性，同時大大提高了其承載能力和耐疲勞性能。工作時，當設備受到機械振動或沖擊時，波紋結構可以迅速變形，通過橡膠的內聚能量將振動能量轉化為熱能，從而有效降低振動幅度，防止其傳遞至光刻機的核心光學系統。
在SSB260/20T型投影光刻機中，SDS橡膠波紋減震器發(fā)揮著至關重要的作用。首先，減震器能夠在低頻和高頻振動范圍內均實現有效隔離，確保設備在啟動、運轉及停止過程中始終保持穩(wěn)定狀態(tài)。其次，波紋結構設計使得減震器具有較大的相對位移補償能力，可以適應設備在運行過程中因熱膨脹或安裝誤差引起的微小變形，從而維持光刻機各部件之間的精確對位。與此同時，其出色的抗老化性能和耐高溫特性，保證了設備在長時間連續(xù)運轉下依然能夠維持穩(wěn)定的減震效果，延長了設備的使用壽命。
